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morningtech:如果測量和反演沒大的問題,可考慮致密度大于100%。 29a~B<e7s 離子濺射,伴隨反應過程,氧鉆入膜層反應,化合物來不及遷移,可能會帶來致密度比體材料還大。 pr\wI?:k 這點可以通過高溫退火(烘烤)來觀察。退火后,會測量到折射率下降,可伴隨厚度增加。膜林科技,專業(yè)的光學真空鍍膜膜厚控制系統 .. (2019-08-13 10:55) g