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    [求助]IBS鍍制的TA2O5折射率過高的原因 [復制鏈接]

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    離線tcyt333
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2019-08-13
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:如果測量和反演沒大的問題,可考慮致密度大于100%。 29a~B<e7s  
    離子濺射,伴隨反應過程,氧鉆入膜層反應,化合物來不及遷移,可能會帶來致密度比體材料還大。 pr\wI?:k  
    這點可以通過高溫退火(烘烤)來觀察。退火后,會測量到折射率下降,可伴隨厚度增加。
    膜林科技,專業(yè)的光學真空鍍膜膜厚控制系統 .. (2019-08-13 10:55)  g