我用99.9%的TA靶材，離子濺射鍍制的TA2O5薄膜折射率為2.18（波長(zhǎng)633處），明顯高于理論值，請(qǐng)問(wèn)有哪些可能的原因呢？

沒(méi)有鍍膜大師幫幫我解惑嗎？ Gf<f#.5y ,  
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你是怎么測(cè)量的折射率，用的是橢偏儀擬合還是光譜反算？ E7`Q=4@e  

膜料的折射率都是一個(gè)參數(shù)一個(gè)結(jié)果，只要你測(cè)量或者計(jì)算得準(zhǔn)確就行，哪來(lái)什么理論值？

我愛(ài)小灰寶:你是怎么測(cè)量的折射率，用的是橢偏儀擬合還是光譜反算？ U}c05GiQw  
 (2019-07-27 16:48)  3FsX3K,_X  

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用透射光譜擬合反算的。

yzhuang:膜料的折射率都是一個(gè)參數(shù)一個(gè)結(jié)果，只要你測(cè)量或者計(jì)算得準(zhǔn)確就行，哪來(lái)什么理論值？ (2019-07-31 11:03)  #OVS]Asn}  

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我這是把塊料的折射率當(dāng)作理論值，好像是2.06吧。

tcyt333:用透射光譜擬合反算的。 (2019-08-09 17:03)  |$sMzPCxOk  

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如果測(cè)透過(guò)來(lái)計(jì)算光學(xué)常數(shù),無(wú)論TFC還是MAC用透過(guò)或者反射計(jì)算參數(shù)的前提是  透過(guò)儀和反射儀相當(dāng)?shù)木珳?zhǔn),如果不精準(zhǔn)不如用膜料庫(kù)自身,特別是目前用透過(guò)率計(jì)算,國(guó)產(chǎn)透過(guò)議也就能測(cè)測(cè)產(chǎn)品,計(jì)算參數(shù)還是算了,透過(guò)儀如果精度差(這個(gè)精度相對(duì)誤差非常小才行),折射率有可能高有可能低,然后影響你整個(gè)帶寬.

knight627:如果測(cè)透過(guò)來(lái)計(jì)算光學(xué)常數(shù),無(wú)論TFC還是MAC用透過(guò)或者反射計(jì)算參數(shù)的前提是  透過(guò)儀和反射儀相當(dāng)?shù)木珳?zhǔn),如果不精準(zhǔn)不如用膜料庫(kù)自身,特別是目前用透過(guò)率計(jì)算,國(guó)產(chǎn)透過(guò)議也就能測(cè)測(cè)產(chǎn)品,計(jì)算參數(shù)還是算了,透過(guò)儀如果精度差(這個(gè)精度相對(duì)誤差非常小才行),折射率有可能高有 .. (2019-08-13 09:42)  /d prs(*K  

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我用woollam橢偏儀測(cè)得的折射率也是2.16，跟光譜擬合的2.18接近，應(yīng)該是可信的。主要就是請(qǐng)教折射率偏高的原因和改良措施有哪些。

橢偏儀測(cè)出來(lái)也有誤差,TA2O5料不象ti3o5,建議你可以從新找一臺(tái)非常好的透過(guò)儀從新測(cè)量石英基底和鍍膜后的石英 透過(guò)率,如果是MAC盡量在9個(gè)極值左右.當(dāng)然只是我個(gè)人平時(shí)得出的結(jié)論,并不一定適合你遇到的情況,通常不會(huì)比軟件里膜料折射率高,我遇到高的主要是以前是SIO2堆密度做不上去,受潮后折射率變高.

如果測(cè)量和反演沒(méi)大的問(wèn)題，可考慮致密度大于100%。 U5pg<xI  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過(guò)程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來(lái)不及遷移，可能會(huì)帶來(lái)致密度比體材料還大。 J sc`^a%`'  
這點(diǎn)可以通過(guò)高溫退火（烘烤）來(lái)觀察。退火后，會(huì)測(cè)量到折射率下降，可伴隨厚度增加。 6O# xV:Uc<  
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膜林科技，專(zhuān)業(yè)的光學(xué)真空鍍膜膜厚控制系統(tǒng)生產(chǎn)研制商。 Q]"u?Q]  
膜林晶控儀，值得信賴。呵呵呵。