morningtech:如果測量和反演沒大的問題，可考慮致密度大于100%。 ;|RTx  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來不及遷移，可能會帶來致密度比體材料還大。 t7pFW^&  
這點(diǎn)可以通過高溫退火（烘烤）來觀察。退火后，會測量到折射率下降，可伴隨厚度增加。
膜林科技，專業(yè)的光學(xué)真空鍍膜膜厚控制系統(tǒng) .. (2019-08-13 10:55)  $xqa{L%B  

morningtech:如果測量和反演沒大的問題，可考慮致密度大于100%。 `uFdwO'DD  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來不及遷移，可能會帶來致密度比體材料還大。 /z!%d%"  
這點(diǎn)可以通過高溫退火（烘烤）來觀察。退火后，會測量到折射率下降，可伴隨厚度增加。
膜林科技，專業(yè)的光學(xué)真空鍍膜膜厚控制系統(tǒng) .. (2019-08-13 10:55)  H|*m$|$,