假定我們在晶控系統(tǒng)中常有設(shè)置材料輸出功率上限和速率一說，但是但實(shí)際鍍膜過程中我們會看到例如材料蒸發(fā)到一定厚度，會有鉆坑，這時要穩(wěn)定原來的速率也不知道是不是晶控系統(tǒng)受到反饋，從而自動提高輸出功率，1.晶控系統(tǒng)的速率設(shè)置是否直接自動時時控制電子槍輸出功率；2.那么假定電子槍時時輸出功率并不穩(wěn)定，排除電子槍方面問題是不是可以理解為晶控系統(tǒng)方面問題。

晶控儀測量速率，并且只能通過調(diào)節(jié)功率來調(diào)整速率（PID）。（調(diào)節(jié)功率來調(diào)整沉積速率，容易理解和實(shí)現(xiàn)。） /Pi{Mv eZM  
而無視光斑、掃描、材料多少、真空度等工藝參數(shù)，因?yàn)榫Э貎x還沒有調(diào)整這些參數(shù)的手段和方法。 ":eHR}Hzx  
光斑位置，掃描頻率和幅度，材料蒸發(fā)有什么特點(diǎn)、能做多厚膜，材料減少過程中坩堝狀態(tài)會有哪些變化等等，合理設(shè)置最大功率、最大鍍膜時間等參數(shù)，保護(hù)電子槍和坩堝。這些目前都是工藝人員要掌控的參數(shù)。 uF@Q8 7G  
C4Bh#C  
自動情況下，一般是晶控儀的功率輸出（模擬量，如0~10V，在界面上顯示百分比功率）直接接到控制電子槍、阻蒸等的功率控制部分。也有間接連接，最后相當(dāng)于直接控制。 1(rH5z'F  
0Ba-VY.H  
膜林晶控-專業(yè)晶控儀生產(chǎn)研制商

morningtech:晶控儀測量速率，并且只能通過調(diào)節(jié)功率來調(diào)整速率（PID）。（調(diào)節(jié)功率來調(diào)整沉積速率，容易理解和實(shí)現(xiàn)。） ,?<jue/bd  
而無視光斑、掃描、材料多少、真空度等工藝參數(shù)，因?yàn)榫Э貎x還沒有調(diào)整這些參數(shù)的手段和方法。 y%`^*E&  
光斑位置，掃描頻率和幅度，材料蒸發(fā)有什么特點(diǎn)、能做多厚膜，材料減少過程 .. (2019-07-15 19:59)  K(Zd-U  

lNls8@  
謝謝您的回復(fù)，想了想假設(shè)參數(shù)條件正常，現(xiàn)觀測到速率曲線不穩(wěn)定，同時輸出功率也在波動，那么想必蒸發(fā)此材料電子槍輸出功率勢必也是在不斷調(diào)整中，那么問題來了，也就是您所說的有上述原因，因?yàn)椴豢煽匾蛩兀�故只能合理變向改善工藝已及根�?jù)材料特性作出對結(jié)果有利的參數(shù)

有些因素不是不可控，只是對晶控儀來說不可控。 P_,f  
沉積速率不穩(wěn)定的原因，有很多方面。 @C~TD)K  
既有前述一些晶控以外的原因，晶控系統(tǒng)自身也存在原因： 9)e`mO*n  
晶振片選擇、探頭清潔、安裝、冷卻、使用情況（如新舊）。PID參數(shù)，甚至晶控儀自身老化。都是原因。 k "'q   
另一方面，速率穩(wěn)定是相對的，10%以內(nèi)變化一般可以接受。 J$j&j`  
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能調(diào)的也就晶控的PID參數(shù)了。 it D%sKo  
你的情況，如果沒法用大一點(diǎn)的坩堝，那只能分兩個坩堝鍍膜了。 e7>)Z  

確實(shí)因素多，忽然想起您說的離子源問題對晶控有影響，這也是光控的好處。以實(shí)際情況排查是最可靠的，遇到過因冷卻情況的，還有晶控線針頭式接觸的，貪圖低價(jià)貨晶振片劃痕，針孔的，頻率降的極快。對了，您能給個聯(lián)系方式我嗎？

ouyuu:能調(diào)的也就晶控的PID參數(shù)了。 nd3]&occ  
你的情況，如果沒法用大一點(diǎn)的坩堝，那只能分兩個坩堝鍍膜了。 |GdA0y\v*}  
 (2019-07-17 23:09)  D'fP2?3FK  

@ RTQJ+ms  
嗯，您說的也對

qqcheng:確實(shí)因素多，忽然想起您說的離子源問題對晶控有影響，這也是光控的好處。以實(shí)際情況排查是最可靠的，遇到過因冷卻情況的，還有晶控線針頭式接觸的，貪圖低價(jià)貨晶振片劃痕，針孔的，頻率降的極快。對了，您能給個聯(lián)系方式我嗎？[表情]  (2019-07-19 04:54)  oC4rL\d
{  

(]7@0d88  
晶控首先是觀察者，然后才是控制者。觀察過程受干擾的因素很多�，F(xiàn)場分析排查。 B@iIj<p~  

-F8%U:2a  
聯(lián)系方式可以去我公司網(wǎng)站找到，百度膜林科技即可，此處不方便留。 TUpEhQ+*  
^1*p]j(  
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qqcheng:嗯，您說的也對 (2019-07-19 04:59)  f3596a  

`mWg$e,  
版主可不是浪得虛名。呵。

厚度厚的層分鍋鍍制