SEM/EDX(形貌觀測、成分分析)掃描電鏡（SEM）可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像，EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X ! :XMP*g  
射線波長和強度實現(xiàn)的，根據(jù)不同元素特征X射線波長的不同來測定試樣所含的元素。通過對比不同元素譜線的強度可以測定試樣中元素的含量。通常EDX結合電子顯微鏡使用，可以對樣品進行微區(qū)成分分析。 >wJt# ZB  
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服務內容：1.材料表面形貌分析，微區(qū)形貌觀察   c"x-_Uk  
          2.材料形狀、大小、表面、斷面、粒徑分布分析 %}x$YDO  
          3.薄膜樣品表面形貌觀察、薄膜粗糙度及膜厚分析 .X)TRD#MW  
          4.納米尺寸量測及標示 -