SEM/EDX(形貌觀測(cè)、成分分析)掃描電鏡（SEM）可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像，EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X `~s,W.Eu4  
射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)的，根據(jù)不同元素特征X射線波長(zhǎng)的不同來測(cè)定試樣所含的元素。通過對(duì)比不同元素譜線的強(qiáng)度可以測(cè)定試樣中元素的含量。通常EDX結(jié)合電子顯微鏡使用，可以對(duì)樣品進(jìn)行微區(qū)成分分析。 %)!~t8To  
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服務(wù)內(nèi)容：1.材料表面形貌分析，微區(qū)形貌觀察   ]f+D& qZ B  
          2.材料形狀、大小、表面、斷面、粒徑分布分析 J0Rz.=Y  
          3.薄膜樣品表面形貌觀察、薄膜粗糙度及膜厚分析 D=Yag!1  
          4.納米尺寸量測(cè)及標(biāo)示 Toa#>Z*+Rb  
          5.微區(qū)成分定性及定量分析 /m|&nl8"qe