主要用途 _v1bTg"?  
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觀察樣品表面微觀形貌，進(jìn)行尺寸及深度進(jìn)行測量，能譜元素分析。 Pk$}%;@
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性能參數(shù) *hv=~A $q  
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a)二次電子分辨率：1.0nm（加速電壓15kV，WD=4mm） ShC_hi  
7MKD_`g  
b)放大倍數(shù) 100~800000（照片倍率）； [