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任務(wù)
SEM掃描電子顯微鏡檢測 掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一 束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電 子、X光信號、背面射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn) 生的電磁輻射。根據(jù)信號強(qiáng)度形成形貌照片，能高倍率觀察表面外觀形貌。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等。 應(yīng)用范圍： 觀察芯片內(nèi)部層次的厚度，看Poly大小，看局部異常，芯片的關(guān)鍵尺寸、線寬及孔徑的測量。 |
