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任務(wù)
SEM掃描電子顯微鏡檢測(cè) 掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一 束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電 子、X光信號(hào)、背面射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn) 生的電磁輻射。根據(jù)信號(hào)強(qiáng)度形成形貌照片，能高倍率觀察表面外觀形貌。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等。 |
