帖子
勛章
關(guān)注
任務(wù)
微光顯微鏡EMMI原理 微光顯微鏡EMMI原理對(duì)于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當(dāng)有用，且效率極高的分析 工具，主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會(huì)放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時(shí)N的電子很容易擴(kuò)散到P，而P的空穴也容易擴(kuò)散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。 偵測(cè)到亮點(diǎn)之情況 會(huì)產(chǎn)生亮點(diǎn)的缺陷：1.漏電結(jié)；2.解除毛刺；3.熱電子效應(yīng)；4閂鎖效應(yīng)； 5氧化層漏電；6多晶硅須；7襯底損失；8.物理損傷等。 偵測(cè)不到亮點(diǎn)之情況 不會(huì)出現(xiàn)亮點(diǎn)之故障：1.亮點(diǎn)位置被擋到或遮蔽的情形（埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置）；2.歐姆接觸；3.金屬互聯(lián)短路；4.表面反型層；5.硅導(dǎo)電通路等。 |
