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掃描式電子顯微鏡(SEM)技術(shù)原理

發(fā)布:探針臺(tái) 2019-08-05 13:53 閱讀:1916
掃描式電子顯微鏡(SEM)技術(shù)原理 E2yL9]K2  
電子顯微鏡是表面微細(xì)結(jié)構(gòu)觀(guān)察最快速有效的方法,對(duì)樣品表面及橫截面做微區(qū)放大觀(guān)察及元件尺寸量測(cè),放大倍率可達(dá)數(shù)十萬(wàn)倍,另加裝的X光能譜散布分析儀(Energy Dispersive Spectrometry of X-ray, EDS),則可以對(duì)微區(qū)材料做定性及半定量分析,對(duì)材料組成或異物成份分析有莫大的幫助。 X$9 "dL