ioxb
f6{  
EMMI（微光顯微鏡） S#tY@h@XV  
微光顯微鏡通過測量樣品加偏壓時所釋放出來的光子來定位故障點。該儀器可以非常靈敏的測出微量光子，并且通過和背景圖片重疊的方法來確定被測樣品漏電的具體位置。微光顯微鏡已經(jīng)成為失效分析定位里最為常見的分析手段。

優(yōu)勢	局限
=J](.78   - 使用相對簡單 Hfh!l2P   - 可以檢測pn結(jié)的漏電 xYPxg!	@o6R[5(   - 光子可能會被金屬層擋住而無法顯示 AotCX7T2T   - 無法測量金屬層短路 eeM?]J-   - 微光漏電光斑較大