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OBIRCH/TIVA（激光故障定位法） 0]3%BgZ(a8  
激光故障定位法是先進(jìn)制程里最有效的定位方法。由于高度聚焦的激光引起的芯片局部溫度升高，會(huì)造成電阻的改變并引發(fā)外加電壓或電流的變化。因此激光掃描顯微鏡就是利用該原理來(lái)確定短路和開(kāi)路的故障點(diǎn)。激光掃描顯微鏡配有兩種波長(zhǎng)的激光，其中1340nm激光多用于檢測(cè)芯片，而1064nm激光多用于檢測(cè)III-V族器件。

優(yōu)勢(shì)	局限
fbp 6lE   - 激光探針光斑相對(duì)較小 i_T8Bfd:   - 可以檢測(cè)到pn結(jié)失效和金屬層短路 ~yz7/?A)TS   - 可用于分析芯片的正面和背面 %m