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SEM掃描電子顯微鏡目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于分析樣品表面形貌，且先進(jìn)的FE-SEM(場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡)可輕易達(dá)到30萬(wàn)倍的放大倍數(shù)。 qQi.?<d2"s  
SEM的高能聚焦電子束掃描樣品表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域會(huì)產(chǎn)生二次電子。這些二次電子被收集起來(lái)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，最終以圖像的形式呈現(xiàn)出樣品表面形貌。 g>d;|sK  
配備了EDX的SEM還可以進(jìn)行元素成份分析，適用于確定材料組成成份、污染物鑒定以及分析樣品表面元素的相對(duì)濃度。雙束聚焦離子束系統(tǒng)融合了FIB和SEM，在進(jìn)行高精度切割的同時(shí)又可以進(jìn)行SEM成像，是一種非常強(qiáng)大的分析工具。

優(yōu)勢(shì)	局限
.I VlEG0   - 優(yōu)良的空間分辨率 5 )2:stT73   - 可以與FIB和EDX整合在同一個(gè)系統(tǒng)中 +#b:d=v!   - 易于操作且分析快速	z|7z j/+g   - 樣品需要適合放入高真空中 ]Fvm 7V   - 導(dǎo)電性弱的樣品容易在樣品表面產(chǎn)生荷電效應(yīng)

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