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能譜X射線光譜儀EDX

發(fā)布:探針臺 2019-08-07 10:49 閱讀:1475
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EDX(能量色散X射線光譜儀)ASDF fBtTJ+51}  
不同元素的特征X射線在電子束撞擊樣品表面時會被激發(fā)出來。能量色散X射線光譜儀通過測量特征X射線的能量和強(qiáng)度來鑒別樣品中的元素組成并進(jìn)行定量分析。該儀器通常與掃描電子顯微鏡(SEM)或透射電子顯微鏡(TEM)結(jié)合使用,能對微米及納米級別的區(qū)域進(jìn)行元素分析。
優(yōu)勢局限
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