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EDX（能量色散X射線光譜儀）ASDF i6p0(OS&D  
不同元素的特征X射線在電子束撞擊樣品表面時(shí)會(huì)被激發(fā)出來。能量色散X射線光譜儀通過測(cè)量特征X射線的能量和強(qiáng)度來鑒別樣品中的元素組成并進(jìn)行定量分析。該儀器通常與掃描電子顯微鏡（SEM）或透射電子顯微鏡（TEM）結(jié)合使用，能對(duì)微米及納米級(jí)別的區(qū)域進(jìn)行元素分析。

優(yōu)勢(shì)	局限
UGNFWZ c   - 分析快速 .FS`Fh;   - 廉價(jià)易得 6^pddGIG   - 非破壞性分析	AKVll   - 采樣深度大 E.$1CGd+   - 無化學(xué)態(tài)信息 M4rOnIJ   - 對(duì)輕元素靈敏度低 !YlyUHD   - 樣品須滿足超高真空條件 uX-]z3+   - 半定量分析

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