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fib離子源發(fā)展 于此同時,英國 Eltham實驗室的BC=m也發(fā)表了第一個針尖型的液態(tài)金屬離子源。 此后,美國 Oregon grad的lwswansen、J0ha等人也紛紛投入液態(tài)金屬離子源的研究,并很快將液態(tài)全屬離子源應用于FB系統(tǒng)。經過30多年的發(fā)展,液態(tài)金屬離子源技術已經趨于成熟。 目前,種類繁多的單質源和合金源的制備工藝已經日趨成熟,也積累了相當豐富的有關液態(tài)全屬離子源特性的計算和實驗數據。Ga源、Au源等一部分離子源在商品生產的聚焦離子束加工系統(tǒng)和二次離子質譜儀分析系統(tǒng)中也已經獲得實際應用。但是,這種離子源的工作機理至今仍然不完全清楚,在一些基本問題上,如,離子潭在離子發(fā)射區(qū)域附近的形狀和大小、離子形成的機理、影響高源工作特性的主要因素等,諸多研究者還存在著明顯的分歧。 |
