有望解決卡脖子問(wèn)題:三強(qiáng)聯(lián)手研發(fā)高端光刻機(jī)
在半導(dǎo)體制造中,光刻是最重要的一個(gè)環(huán)節(jié),同時(shí)也是決定半導(dǎo)體工藝水平的關(guān)鍵,高端芯片要光刻多次,占到了制造成本的三分之一,目前全球的光刻機(jī)主要壟斷在荷蘭ASML、日本佳能、尼康手里。
國(guó)內(nèi)也是有光刻機(jī)研發(fā)生產(chǎn)能力的,不過(guò)技術(shù)水平比較低,國(guó)內(nèi)公司的光刻機(jī)主要用于90nm及以上的工藝,先進(jìn)工藝上依然要依賴進(jìn)口光刻機(jī),但是這個(gè)局面有可能加速改變。 日前北京國(guó)望光學(xué)科技宣布,該公司價(jià)值10億元的增資方案已經(jīng)在北京產(chǎn)權(quán)交易所完成,該公司引入了中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所和中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所作為戰(zhàn)略投資者,兩家機(jī)構(gòu)以無(wú)形資產(chǎn)作價(jià)10億元入股,對(duì)應(yīng)持股比例為33.33%。 中科院下屬的長(zhǎng)春、北京研究所本身也是國(guó)內(nèi)光刻機(jī)研發(fā)領(lǐng)域的重要力量,現(xiàn)在三家公司進(jìn)行了緊密合作,意味著北京在推動(dòng)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)核心部件生產(chǎn)方面邁出實(shí)質(zhì)性步伐,將加快突破國(guó)產(chǎn)中高端光刻機(jī)制造“卡脖子”技術(shù)難題。 關(guān)鍵詞: 光刻機(jī)
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