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半導體IC清洗技術(shù) 半導體IC清洗技術(shù) 李 仁 （中國電子科技集團公司第四十五研究所，北京 101601） 半導體IC清洗技術(shù)摘要：介紹了半導體IC制程中存在的各種污染物類型及其對IC制程的影響和各種污染物的去除方法, 并對濕法和干法清洗的特點及去除效果進行了分析比較。 |
半導體IC清洗技術(shù)半導體IC清洗技術(shù) 李 仁 （中國電子科技集團公司第四十五研究所，北京 101601） 半導體IC清洗技術(shù)摘要：介紹了半導體IC制程中存在的各種污染物類型及其對IC制程的影響和各種污染物的去除方法, 并對濕法和干法清洗的特點及去除效果進行了分析比較。 |