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VirtualLab:二元光柵設計流程
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VirtualLab:二元光柵設計流程
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xunjigd
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樓主
發(fā)表于: 2019-08-19
關鍵詞:
VirtualLab
光柵
具有直壁或傾斜側壁的二元
光柵
已成為許多
光學
應用中的關鍵部件。 感謝
納米
壓印技術,使小尺寸的光柵的制造已經(jīng)變得可行。
VirtualLab
Fusion采用內(nèi)置的傅里葉模態(tài)方法(FMM,也稱為RCWA)和不同的
優(yōu)化
算法,為二元光柵提供了完整的用戶友好的設計工作流程,和隨后的制造誤差分析,如圓邊效應。
uvAy#,
$(!D/bvJ
高效
偏振
無關透射光柵的分析與設計
bC>yIjCTn
5