具有直壁或傾斜側(cè)壁的二元
光柵已成為許多
光學(xué)應(yīng)用中的關(guān)鍵部件。 感謝
納米壓印技術(shù)，使小尺寸的光柵的制造已經(jīng)變得可行。
VirtualLab Fusion采用內(nèi)置的傅里葉模態(tài)方法（FMM，也稱為RCWA）和不同的
優(yōu)化算法，為二元光柵提供了完整的用戶友好的設(shè)計(jì)工作流程，和隨后的制造誤差分析，如圓邊效應(yīng)。
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高效
偏振無關(guān)透射光柵的分析與設(shè)計(jì)
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qybxXK: 0` 5e 我們演示了如何嚴(yán)格分析二元光柵的偏振相關(guān)特性; 以及如何優(yōu)化二元
結(jié)構(gòu)以獲得高偏振無關(guān)的
衍射效率。
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GB)b 傾斜光柵的
參數(shù)優(yōu)化與
公差分析
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