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    [求助]MgF2預融速率過大會不會產生膜料點子的情況？產生膜料點子和臟點子情況有哪些呢？ [復制鏈接]

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    離線misery_
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2019-09-16
    MgF2預融速率過大會不會產生膜料點子的情況？產生膜料點子和臟點子情況有哪些呢？玻璃膜料點子多，這種情況如何解決的？
     
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    離線1111111111
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2019-09-17
    降低擋板的高度，MGF2不預融，用電子槍蒸鍍，點子也還可以啊。
    離線ouyuu
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2019-09-18
    點子原因非常多，可以說真空室內任何一個機構都有可能形成點子。
    離線士官長
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2019-09-28
    預熔時候如果不開擋板應該不會導致點子，開擋板時的速率是最好和設定速率差不多。
    離線ouyuu
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2019-09-30
    剛才回復他人帖子時候想到一個可能性。 ?;> s<  
    予熔設定的電流過低或者過高，導致開擋板瞬間電子槍調整劇烈的話，也會有噴濺產生。
    離線wflney
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2019-12-29
    贊同四樓的說法
    離線xiezhizhi
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2020-02-01
    設備用了多久了 h|yv*1/|  
    離線morningtech
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2020-02-01
    版主說的有道理。束流急劇變化，確實易產生點子。 F)j-D(c4  
    預熔；大光斑，低束流，功率慢變（調小P值），調小最大功率。 e{:P!r aM  
    膜林晶控儀的最大功率延遲，出發(fā)點就是防止開擋板后的束流劇變，對防噴濺有點點幫助。