MgF2預(yù)融速率過大會(huì)不會(huì)產(chǎn)生膜料點(diǎn)子的情況？產(chǎn)生膜料點(diǎn)子和臟點(diǎn)子情況有哪些呢？玻璃膜料點(diǎn)子多，這種情況如何解決的？

降低擋板的高度，MGF2不預(yù)融，用電子槍蒸鍍，點(diǎn)子也還可以啊。

點(diǎn)子原因非常多，可以說真空室內(nèi)任何一個(gè)機(jī)構(gòu)都有可能形成點(diǎn)子。

預(yù)熔時(shí)候如果不開擋板應(yīng)該不會(huì)導(dǎo)致點(diǎn)子，開擋板時(shí)的速率是最好和設(shè)定速率差不多。

剛才回復(fù)他人帖子時(shí)候想到一個(gè)可能性。 6N#0D2~^  
予熔設(shè)定的電流過低或者過高，導(dǎo)致開擋板瞬間電子槍調(diào)整劇烈的話，也會(huì)有噴濺產(chǎn)生。

贊同四樓的說法

設(shè)備用了多久了 sHPK8Wsg  

版主說的有道理。束流急劇變化，確實(shí)易產(chǎn)生點(diǎn)子。 b\Mb6s  
預(yù)熔；大光斑，低束流，功率慢變（調(diào)小P值），調(diào)小最大功率。 iTVepYv4m  
膜林晶控儀的最大功率延遲，出發(fā)點(diǎn)就是防止開擋板后的束流劇變，對(duì)防噴濺有點(diǎn)點(diǎn)幫助。