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雙束聚焦離子束(Dual-beam FIB)：雙束聚焦離子束,北京雙束聚焦離子束,檢測 gJ~CD1`O  
Dual-beam FIB機臺能在以離子束切割樣品時，同時用電子束對斷面進行觀察。所建置的業(yè)界相當(dāng)高階機臺，具備超高分辨率的離子束及電子束。能針對樣品中的微細(xì)結(jié)構(gòu)進行奈米尺度的定位及觀察，大幅提升失效分析及TEM樣品制備的成功率與影像質(zhì)量。 |w+ O.%=  
雙束型聚焦離子束顯微鏡的應(yīng)用，主要以下列所述為主： s bd$.6 |&  
半導(dǎo)體組件故障分析(能力可達(dá)20nm高階制程) t37<<5A  
半導(dǎo)體生產(chǎn)線制程異常分析 vR&b2G7o  
磊晶與薄膜結(jié)構(gòu)分析 :| !5d{8S8  
電位對比測試 +cM~|  
納米級結(jié)構(gòu)加工