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雙束聚焦離子束(Dual-beam FIB)：雙束聚焦離子束,北京雙束聚焦離子束,檢測(cè) 6D| F1UFU  
Dual-beam FIB機(jī)臺(tái)能在以離子束切割樣品時(shí)，同時(shí)用電子束對(duì)斷面進(jìn)行觀察。所建置的業(yè)界相當(dāng)高階機(jī)臺(tái)，具備超高分辨率的離子束及電子束。能針對(duì)樣品中的微細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行奈米尺度的定位及觀察，大幅提升失效分析及TEM樣品制備的成功率與影像質(zhì)量。 E,d<F{=8,o  
雙束型聚焦離子束顯微鏡的應(yīng)用，主要以下列所述為主： /[?}LrDO  
半導(dǎo)體組件故障分析(能力可達(dá)20nm高階制程) >K'dgJ245  
半導(dǎo)體生產(chǎn)線制程異常分析 &B5&:ib1D  
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電位對(duì)比測(cè)試 B9,39rG/7+  
納米級(jí)結(jié)構(gòu)加工