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芯片測(cè)試術(shù)語(yǔ)介紹

發(fā)布:探針臺(tái) 2019-10-30 11:33 閱讀:2031
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CPFT、WAT =IUUeFv +r  
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CP是把壞的Die挑出來(lái),可以減少封裝和測(cè)試的成本。可以更直接的知道Wafer 的良率。FT是把壞的chip挑出來(lái);檢驗(yàn)封裝的良率。 cKn`/\.H  
現(xiàn)在對(duì)于一般的wafer工藝,很多公司多把CP給省了;減少成本。 xY$iz)^0&  
CP對(duì)整片Wafer的每個(gè)Die來(lái)測(cè)試 mWyqG*-Hb  
FT則對(duì)封裝好的Chip來(lái)測(cè)試。 lRv eHB&V  
CP  Pass 才會(huì)去封裝。然后FT,確保封裝后也Pass ONCnVjZ  
WATWafer Acceptance Test,對(duì)專門的測(cè)試圖形(test key)的測(cè)試,通過(guò)電參數(shù)來(lái)監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定; P9S2?Q  
CPwafer levelchip probing,是整個(gè)wafer工藝,包括backgrindingbackmetalif need),對(duì)一些基本器件參數(shù)的測(cè)試,如vt(閾值電壓),Rdson(導(dǎo)通電阻),BVdss(源漏擊穿電壓),Igss(柵源漏電流),Idss(漏源漏電流)等,一般測(cè)試機(jī)臺(tái)的電壓和功率不會(huì)很高; .58qL-iC  
FTpackaged chip levelFinal Test,主要是對(duì)于這個(gè)(CP passedICDevice芯片應(yīng)用方面的測(cè)試,有些甚至是待機(jī)測(cè)試; *b xzCI7b  
Pass FP還不夠,還需要做process qual product qual ZvUC I8  
CP 測(cè)試對(duì)Memory來(lái)說(shuō)還有一個(gè)非常重要的作用,那就是通過(guò)MRA計(jì)算出chip level Repair address,通過(guò)Laser RepairCP測(cè)試中的Repairable die 修補(bǔ)回來(lái),這樣保證了yieldreliability兩方面的提升。 IXb}AxB f  
CP是對(duì)wafer進(jìn)行測(cè)試,檢查fab廠制造的工藝水平 )x]3Zq  
FT是對(duì)package進(jìn)行測(cè)試,檢查封裝廠制造的工藝水平 8Th` ]tI  
對(duì)于測(cè)試項(xiàng)來(lái)說(shuō),有些測(cè)試項(xiàng)在CP時(shí)會(huì)進(jìn)行測(cè)試,在FT時(shí)就不用再次進(jìn)行測(cè)試了,節(jié)省了FT測(cè)試時(shí)間;但是有些測(cè)試項(xiàng)必須在FT時(shí)才進(jìn)行測(cè)試(不同的設(shè)計(jì)公司會(huì)有不同的要求) !H2QjW  
一般來(lái)說(shuō),CP測(cè)試的項(xiàng)目比較多,比較全;FT測(cè)的項(xiàng)目比較少,但都是關(guān)鍵項(xiàng)目,條件嚴(yán)格。但也有很多公司只做FT不做CP(如果FT和封裝yield高的話,CP就失去意義了)。 [xT:]Pw}  
在測(cè)試方面,CP比較難的是探針卡的制作,并行測(cè)試的干擾問(wèn)題。FT相對(duì)來(lái)說(shuō)簡(jiǎn)單一點(diǎn)。還有一點(diǎn),memory測(cè)試的CP會(huì)更難,因?yàn)橐?/font>redundancy analysis,寫程序很麻煩。 h(F<h_  
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CP在整個(gè)制程中算是半成品測(cè)試,目的有2個(gè),1個(gè)是監(jiān)控前道工藝良率,另一個(gè)是降低后道成本(避免封裝過(guò)多的壞芯片),其能夠測(cè)試的項(xiàng)比FT要少些。最簡(jiǎn)單的一個(gè)例子,碰到大電流測(cè)試項(xiàng)CP肯定是不測(cè)的(探針容許的電流有限),這項(xiàng)只能在封裝后的FT測(cè)。不過(guò)許多項(xiàng)CP測(cè)試后FT的時(shí)候就可以免掉不測(cè)了(可以提高效率),所以有時(shí)會(huì)覺得FT的測(cè)試項(xiàng)比CP少很多。 lt_']QqU  
應(yīng)該說(shuō)WAT的測(cè)試項(xiàng)和CP/FT是不同的。CP不是制造(FAB)測(cè)的! TuW/N L|  
CP的項(xiàng)目是從屬于FT的(也就是說(shuō)CP測(cè)的只會(huì)比FT少),項(xiàng)目完全一樣的;不同的是卡的SPEC而已;因?yàn)榉庋b都會(huì)導(dǎo)致參數(shù)漂移,所以CP測(cè)試SPEC收的要比FT更緊以確保最終成品FT良率。還有相當(dāng)多的DHwafer做成幾個(gè)系列通用的die,在CP是通過(guò)trimming來(lái)定向確定做成其系列中的某一款,這是解決相似電路節(jié)省光刻版的佳方案;所以除非你公司的wafer封裝成device是唯()一的,且WAT良率在99%左右,才會(huì)盲封的。 UThB7(O,  
據(jù)我所知盲封的DH很少很少,風(fēng)險(xiǎn)實(shí)在太大,不容易受控。 JKX_q&bUw  
WATwafer level 的管芯或結(jié)構(gòu)測(cè)試 e#B#B  
CPwafer level 的電路測(cè)試含功能 ]q6;#EUr?  
FTdevice level 的電路測(cè)試含功能 HFq