摘要：本文提出了一種改良的檢測方法用于實(shí)現(xiàn)對超大口徑凸非球面反射鏡進(jìn)行高精度的面形檢測。該方法利用計算機(jī)再現(xiàn)全息和照明透鏡混合補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)對超大口徑凸非球面的高精度檢測。首先，對該方法的基本原理進(jìn)行了分析和研究；然后，以一塊口徑為800 mm的超大口徑凸非球面為例，進(jìn)行了子孔徑規(guī)劃和檢測光路中相關(guān)光學(xué)元件的設(shè)計；最后，以中心子孔徑為例，系統(tǒng)分析了該檢測裝置的敏感度。仿真實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：計算全息補(bǔ)償器的設(shè)計殘差均方根值小于0.001 3 nm，該檢測系統(tǒng)的綜合檢測精度可以優(yōu)于6 nm RMS。結(jié)果表明該檢測系統(tǒng)滿足超大口徑凸非球面反射鏡高精度面形檢測的要求。 b #/i.!:a
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關(guān)鍵詞 ： 面形檢測；非球面；像差補(bǔ)償；衍射光學(xué)元件
