1. 摘要 9u3~s<  
*O`76+iZ|_  
白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時(shí)才會出現(xiàn)干涉圖樣。 FTB@70  
   N8$MAW  

圖片:1-191204120226228.png

/+FZDRf!r  
$6~ \xe=  
2. 建模任務(wù) d+9T}? T:*  
<Pg]V:=g'  

圖片:1-19120412030c28.png

MX3ss,F  
   ;%Z%]n
IS  
3. 干涉條紋的變化 4JF8S
#8B  
'IaI7on  

圖片:1-191204120352336.png

fO!S^<9,-  
v>vU]6l  
4. 走進(jìn)VirtualLab Fusion ELx?ph