1. 摘要
_~A~+S} tU:FX[&?R 白光
干涉儀是一種非接觸測量技術,用于如表面輪廓或微小位移的高
精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀
系統(tǒng)和一個氙燈
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等
光譜特性,結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。
0d4cE10 G{o+R]Us {/ &B!zvl :JlDi>B 2. 建模任務
UX_I6_& uyT/Xzo3 H]Wp%"L #ElejQ|? 3. 干涉條紋的變化
5pJ*1pfeo J]fS({(\I LgHJo-+> TyOH`5D 4. 走進VirtualLab Fusion
^>m^\MuZ tcA;#^jc D{C:d\ e)$ cy1jZ1) 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
O,mip YwAnqAg ,4Y*:JU4