1. 摘要 <2@<r
t{  
-
5-SlQu  
白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 y3o4%K8  
   %ucmJ-<y#  

圖片:1-191204120226228.png

H R!
>g  
9:Z~}yX  
2. 建模任務(wù) I#6' NZ  
2DBFXhP  

圖片:1-19120412030c28.png

9q,JqB  
   JpHsQ8<  
3. 干涉條紋的變化 !\k#{ 1[!  
sxQ