摘要 {g~bQ2wDC  
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。 Ru>uL@w  
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建模任務 {W~q z^>u4  
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仿真干涉條紋 ^/=#UQ*k  
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走進VirtualLab Fusion #9fWA
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VirtualLab Fusion中的工作流程 -l-E_6|/W  
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•設置輸入場 X$\i{p9jw  
−基本光源模型[教程視頻] `L5~mb;7*  
•使用導入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 R%H$%cnj  
•定義元件的位置和方向 u@P[Vb   
− LPD II：位置和方向[教程視頻] 4YMX|1wd)  
•正確設置通道以進行非序列追跡 !epgTN  
−非序列追跡的通道設置[用例] HygY>s+3[  
•使用參數(shù)運行檢查影響/變化 {8EW)4Hf  
−參數(shù)運行文檔的使用[用例] w_4]xgS:  
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VirtualLab Fusion技術 XfzVcap  
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文件信息 9kY[j2,+  
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更多閱覽 &Rz, J]  
-   Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration ftavbNR`W  
-   Mach-Zehnder Interferometer i!dv0|_  
-   Fizeau Interferometer for Optical Testing N 6O8Wn  
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