EMMI（微光顯微鏡） BfiD9ka-z  

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圖片:f3fc270a899d604f0aaeb6678cb811c.png

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對(duì)于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當(dāng)有用，且效率極高的分析工具，主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會(huì)放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時(shí)N的電子很容易擴(kuò)散到P， 而P的空穴也容易擴(kuò)散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。 9-m=*|p  
偵測(cè)到亮點(diǎn)之情況 Oa>Ppldeg  
會(huì)產(chǎn)生亮點(diǎn)的缺陷：1.漏電結(jié)；2.解除毛刺；3.熱電子效應(yīng)；4閂鎖效應(yīng)； 5氧化層漏電；6多晶硅須；7襯底損失；8.物理損傷等。 m~ee/&T  
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