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半導體術語解釋 (八)

發(fā)布:探針臺 2020-01-09 11:44 閱讀:3183
244) Uniformity  均勻性 n';"c;Ye)  
      (最大值-最小值)/2*平均值),有兩種均勻性:一種是一片Wafer的均勻性(within wafer),測得五個點,然后得到最大值最小值和平均值,再安公式計算。另一種是Wafe之間的均勻性(wafer to wafer),同樣測得最大值和最小值和平均值再計算均勻性。 AQkH3p/W  
245) USG (Undoped SiO2) o('W2Bs-o  
即沒有攙雜的二氧化硅,LPCVD制得,一般沉積在BPSG下面,以防止BPSG中的P元素滲透到Si表面,影響組件的特性。 Fx#0 :p  
246) Up Time  使用率 ,Q|[Yr  
  表示機臺可以run貨的時間,包含run貨的時間及機臺lost時間,即除down機時間 N)'oX3?x  
247) Vacuum真空 ,4dES|)sP  
       真空系針對大氣而言,一特定空間內的部份氣體被排出,其壓力小于1大氣壓。 J