半導體術語解釋 (八)
244) Uniformity 均勻性 (最大值-最小值)/(2*平均值),有兩種均勻性:一種是一片Wafer的均勻性(within wafer),測得五個點,然后得到最大值最小值和平均值,再安公式計算。另一種是Wafe之間的均勻性(wafer to wafer),同樣測得最大值和最小值和平均值再計算均勻性。 245) USG (Undoped SiO2) 即沒有攙雜的二氧化硅,LPCVD制得,一般沉積在BPSG下面,以防止BPSG中的P元素滲透到Si表面,影響組件的特性。 246) Up Time 使用率 表示機臺可以run貨的時間,包含run貨的時間及機臺lost時間,即除down機時間 247) Vacuum真空 真空系針對大氣而言,一特定空間內的部份氣體被排出,其壓力小于1大氣壓。 |