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摘要 _?J:Z*z? x"xtILrI \[F4ooe .X(*mmH 干涉測量法是一項用于 光學測量的重要技術。它被廣泛應用于表面輪廓、缺陷、 機械和熱變形的高 精度測量。作為一個典型示例,在非 序列場追跡技術的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的馬赫-澤德 干涉儀。該例證明了 光學元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 WzxDnd<B (%^Bp\.02! 建模任務 2%oo.?!R 53jtwklA ~n$e RiNKUk{- 由于組件傾斜引起的干涉條紋 PN@[k:5( 1> wt G: p!PB>= i~04
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