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漏電測(cè)試微光顯微鏡(EMMI) 漏電測(cè)試微光顯微鏡(EMMI) 對(duì)于半導(dǎo)體組件之故障分析而言，微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)已被學(xué)理證實(shí)是一種相當(dāng)有用且效率極高的診斷工具。該設(shè)備具備高靈敏度的CCD，可偵測(cè)到組件中電子－電洞對(duì)再結(jié)合時(shí)所發(fā)射出來(lái)的光子，能偵測(cè)到的波長(zhǎng)約在 350 nm ~ 1100 nm 左右。目前此設(shè)備全方面的應(yīng)用于偵測(cè)各種組件缺點(diǎn)所產(chǎn)生的漏電流，如： Gate oxide defects / Leakage、Latch up、ESD failure、junction Leakage 等。 偵測(cè)的到亮點(diǎn)之情況： |
