雙束電鏡介紹
主要優(yōu)勢 使用 Sidewinder HT離子鏡筒快速、簡便地制備高質(zhì)量、定位TEM 和原子探針樣品 Thermo Scientific NICol™ 電子鏡筒可進行超高分辨率成像, 滿足最廣泛類型樣品(包括磁性和不導電材料)的最佳成像需求 各類集成化鏡筒內(nèi)及極靴下探測器,采集優(yōu)質(zhì)、銳利、無荷電圖像,提供最完整的樣品信息 可選AS&V4軟件,精確定位感興趣區(qū)域,獲取優(yōu)質(zhì)、多模態(tài) 內(nèi)部和三維信息 高度靈活的110 mm樣品臺和內(nèi)置的Thermo Scientific Nav-Cam™相機實現(xiàn)精確樣品導航 專用的DCFI、漂移抑制技術(shù)和Thermo Scientific SmartScan™等模式實現(xiàn)無偽影成像和圖形加工 靈活的 DualBeam 配置,優(yōu)化解決方案滿足特定應(yīng)用需求 通用型高性能雙束系統(tǒng) Scios 2 DualBeam 提供最佳的樣品制備、內(nèi)部及三維表征性能,可滿足最廣泛類型樣品的應(yīng)用需求。 Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系統(tǒng)是一款超高分辨率分析系統(tǒng),可為最廣泛類型的樣品(包括磁性和不導電材料) 提供出色的樣品制備和三維表征性能。 Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)創(chuàng)新性的功能設(shè)計,優(yōu)化了其樣品處理能力、分析精度和易用性, 是滿足科學家和工程師在學術(shù)、政府和工業(yè)研究環(huán)境中進行高級研究和分析的理想解決方案。該系統(tǒng)于2013年推出市場,MTBF>1500hr,深受廣大半導體用戶愛戴。 高質(zhì)量 TEM 制樣 科學家和工程師不斷面臨新的挑戰(zhàn),需要對具有更小特征的日益復雜的樣品進行高度局部化表征。Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)的最新技術(shù)創(chuàng)新,結(jié)合最易于使用、最全面的 Thermo Scientific AutoTEM™4軟件(可選)和專業(yè)的應(yīng)用知識,可快速輕松地定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。 為了獲得高質(zhì)量的結(jié)果, 需要使用低能離子進行精拋,以最大限度地減少樣品的表面損傷。Thermo Scientific Sidewinder™HT聚焦離子束(FIB)鏡筒不僅可以在高電壓下提供高分辨率成像和刻蝕,而且具有良好的低電壓性能,可以制備高質(zhì)量的TEM薄片。 高質(zhì)量內(nèi)部和三維信息 內(nèi)部或三維表征有助于更好地理解樣品的結(jié)構(gòu)和性質(zhì), Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)配備 Thermo Scientific Auto Slice&View™4 。ˋS&V4)軟件,可以高質(zhì)量、全自動地采集多種三維信息,其中,三維 BSE 圖像提供最佳材料襯度,三維 EDS 提供成分信息, 而三維 EBSD 提供顯微結(jié)構(gòu)和晶體學信息。結(jié)合Thermo Scientific Avizo™軟件,Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)可為納米尺度的高分辨、先進三維表征和分析提供獨特的工作流程解決方案。 超高分辨成像并獲取最全面的樣品信息 創(chuàng)新的NICol電子鏡筒為Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)的高分辨率成像和檢測功能奠定了基礎(chǔ)。無論是在STEM模式下以30 keV來獲取結(jié)構(gòu)信息,還是在較低的能量下從樣品表面獲取無荷電信息, 系統(tǒng)可在最廣泛的工作條件下提供出色的納米級細節(jié)。系統(tǒng)獨特的鏡頭內(nèi)Thermo Scientific Trinity™檢測技術(shù)可同時采集角度和能量選擇性SE和BSE圖像。無論是將樣品豎直或傾斜放置進行觀察,亦或者是觀察樣品截面,都可快速獲取最詳細的納米級信 息?蛇x配的透鏡下探測器和電子束減速模式可確保快速、輕松 地同時采集所有信號,以顯示材料表面或截面中的最小特征。依托獨特的NICol鏡筒設(shè)計和全自動合軸功能,用戶可獲得快速、準確且可重復的結(jié)果。 |