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    [求助]目前工藝介質(zhì)膜厚精度能到多少？ [復(fù)制鏈接]

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    離線alien21
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-03-20
    關(guān)鍵詞： 鍍膜
    想咨詢一下，以目前的鍍膜工藝水平，蒸鍍和濺射方法鍍制介質(zhì)膜，膜厚精度分別能到多少? 膜系總厚在100nm左右。 L2%npps  
     
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    離線alien21
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-03-20
    求教，有人嗎
    離線ouyuu
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-03-20
    你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ {WuUzq`  
    物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。
    離線morningtech
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-03-20
    晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點，  2%~3%的也能應(yīng)付。 t8B==%  
    再提高，0.5%準確度比較難了。 ?Q: KW  
    鍍膜更重要的是重復(fù)性。
    離線alien21
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-03-21
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ >L>t$1hXM  
    物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。 (2020-03-20 16:40)