想咨詢一下，以目前的鍍膜工藝水平，蒸鍍和濺射方法鍍制介質(zhì)膜，膜厚精度分別能到多少? 膜系總厚在100nm左右。 T3oFgzoO  

求教，有人嗎

你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ $&.(7F^D  
物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。

晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點(diǎn)，  2%~3%的也能應(yīng)付。 ]/h$6mrL  
再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 h(kPf]0  
鍍膜更重要的是重復(fù)性。

ouyuu:你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ o4a@{nt^,  
物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。 (2020-03-20 16:40)  SsMs#C8u%  

 fZap\  
謝謝！物理膜厚精度，

morningtech:晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點(diǎn)，  2%~3%的也能應(yīng)付。 -q-BP}r3  
再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 N4yQ,tG>aa  
鍍膜更重要的是重復(fù)性。 (2020-03-20 19:47)  maQDD*  

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q432ZG  
明白了，謝謝！

alien21:謝謝！物理膜厚精度， (2020-03-21 09:56)  +d8?=LX  

qzE -y-9@  
物理膜厚由水晶控制，一般是5%左右。 vau#?U".}>  
水晶片的震蕩頻率會(huì)受溫度影響，鍍膜時(shí)候溫度上升會(huì)干擾到水晶的精度。 |0N1]Hf  
所以有些高精度的鍍膜機(jī)會(huì)用水冷來解決溫升的問題。 q9m-d-!)  
但是水晶片溫度低了和膜的結(jié)合力受影響，水晶片上沉積多了以后膜就會(huì)脫落。 3%V VG~[  
水晶片的使用壽命會(huì)受影響

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學(xué)習(xí)了解