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半導(dǎo)體元器件失效分析流程方法

發(fā)布：探針臺(tái) 2020-03-28 12:03 閱讀：1352
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失效分析是我們半導(dǎo)體工程師常用到的分析方式，樣品失效后，通過分析了解原因，提出改進(jìn)計(jì)劃。 [@3SfQ  
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1.OM 顯微鏡觀測，外觀分析 ]*;F. pZ  
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2.C-SAM（超聲波掃描顯微鏡） $"8d:N?I[  
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（1）材料內(nèi)部的晶格結(jié)構(gòu)，雜質(zhì)顆粒，夾雜物，沉淀物， _faJ