SYNOPSYS中由許多MTF分析方法，都可在對(duì)話框MOP中找到，也可使用命令。 Dp':oJC 一、卷積 MTF，精確 OPD（MTF）；卷積 MTF，插入 OPD（ZMTF）。 \Rp-;.I@6 1. 單一頻率顯示： 2'W<h)m)z 
vMm1Z5S/
[DF,^4g [ Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR FREQ [ GRID ] GBAR
2.通過可選繪制圖分析21個(gè)頻率顯示：
;NHt7p8SE
[Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR 0 [ GRID ] GBAR [ P ]
第一種方式是在FREQ的空間頻率下計(jì)算子午和弧矢的MTF，對(duì)于聚焦透鏡而言頻率單位為 cy / mm，對(duì)于 AFOCAL 而言頻率單位為 cy / mr。助記符“MTF”使用精確光線選項(xiàng)，而“ZMTF”使用波前插值法。如果開關(guān) 84 關(guān)閉，這是 Zernike 展開式，如果開啟，則是線性樣式。可以為 ICOL 輸入明確的顏色編號(hào)，為主要顏色輸入字母“P”，或者輸入字母“M”，表示多色分析。如果輸入 P，則第二種形式給出 21 個(gè)頻率的 MTF，并且可選地給出曲線圖。
二、多視場(chǎng)卷積 MTF，精確 OPD（ MFF）；多視場(chǎng)卷積 MTF，插值 OPD（ MZMTF）
從對(duì)話框MMF中或命令模式下獲得四個(gè)視場(chǎng)點(diǎn)的卷積MTF。
u4 /kR
MFF (exact-ray method)
或 MZMTF [ GRID ] (Interpolationmethod)
[ HBAR HBAR HBAR HBAR HBAR …]
[ HGEN NHBAR]
ICOL{ICOL/M/P}
[GBAR GBAR]
{PLOT/GO}
當(dāng)沒有給出 HBAR條目時(shí)，默認(rèn)視場(chǎng)為 0,0.5,0.75 和 1.0。 HGEN條目創(chuàng)建了一個(gè) NHBAR 視場(chǎng)的數(shù)組,均勻分布在 0 到 1.0 之間。在 HBAR或 NHBAR 上可以指定最多 20 個(gè)視場(chǎng)點(diǎn)。
MZMTF 選項(xiàng)使用的是波前插值法，如果開關(guān) 84 關(guān)閉，它將是一個(gè) Zernike 展開式，如果開關(guān) 84 打開，它將是一個(gè)線性樣式。這些情況可以接受可選的[GRID]輸入(默認(rèn)為 80)。
如果透鏡校正不好，并且您想在低頻下檢查 MTF，那么在打開開關(guān) 84 的情況下，使用 MZMTF 選項(xiàng)可以獲得更好的精度。
三、 卷積 MTF視場(chǎng)（MOF）； MOF的插值（ZMOF）
<U Qe.K"
[Z]MOF { ICOL / M / P } 0 FREQ { GRID/ 0 } GBAR [ Q ] [FREQ FREQ FREQ]
這里， MOF 利用精確的光線衍射 MTF 計(jì)算，并且 ZMOF在光瞳上插入每個(gè)點(diǎn)得到近似 OPD，如果開關(guān) 84 關(guān)閉則使用 Zernike 方法，如果開啟則使用線性樣式。
FMOF 和 FZMOF選項(xiàng)執(zhí)行從 HBAR=-1 到+1 的完整跟蹤，而其他選項(xiàng)執(zhí)行從 0到+1 的跟蹤。
c|#8T*`C FREQ 是第一個(gè)要分析的空間頻率。 fy Byz=pl
GRID 是網(wǎng)格編號(hào)，從 20 到 80; 這僅適用于插值選項(xiàng)。 o/+13C
GBAR 是傾斜視場(chǎng)點(diǎn)。必須為此定義傾斜視場(chǎng)以表示相關(guān)內(nèi)容。 lhBT@5Dm9
Q 設(shè)置 quiet 操作：程序將不會(huì)列出所有繪制的 MTF。 o<|P9#(U"
FREQ ...最多可以分析三個(gè)空間頻率。
四、焦點(diǎn)卷積 MTF（TFMTF）
Y$?9Zkp>
從對(duì)話框 MTM 中，可以在給定空間頻率處將卷積 MTF 繪制為最多四個(gè)視場(chǎng)點(diǎn)和 10 個(gè)波長(zhǎng)處的焦點(diǎn)位置的函數(shù)。命令模式輸入是：
、 s[w6FXt
主波長(zhǎng)中的默認(rèn)值為 HBAR =（0,0.5,0.75,1.0）和 GBAR = 0。 “M”表示多色分析， “P”表示默認(rèn)顏色。
HBAR 線路上可能設(shè)定最多 20 個(gè)視場(chǎng)點(diǎn);如果輸入視場(chǎng)， 將生成一組 NHBAR字段點(diǎn)，這些點(diǎn)均勻分布在 0 到 1 之間。 后者需要命令模式輸入。
該程序還可以在最多四個(gè)空間頻率的單個(gè)視場(chǎng)點(diǎn)處繪制 MTF。如果在命令行中設(shè)置多個(gè)頻率，則將分析所有頻率，并且僅使用第一個(gè)HBAR。在這種情況下，需要命令模式列表。
6e[VgN-s 由于該程序使用精確光線追跡而不是某些其他 MTF 選項(xiàng)可用的插值選項(xiàng)，因此不應(yīng)在低于衍射截止值的約 1/40 的空間頻率下設(shè)置它。
該程序評(píng)估總共 7 個(gè)焦點(diǎn)位置，由焦點(diǎn)增量 DF 分隔。
五、傅立葉變換 MTF（DMTF）
=Xqc]5 [i
[W]DMTF {ICOL / M / P} HBAR NRYS 0 GBAR[P]
GhIKvX_N
六、幾何 MTF(GMTF)
6 BCf:mqP
[ FCO FREQ ]
GMTF{ ICOL / M / P } HBAR NRYS 0 GBAR [ P ]
其中ICOL-顏色編號(hào)，可選M指定使用先前輸入的數(shù)據(jù)執(zhí)行多色分析。P只設(shè)置主要顏色。
HBAR-指定物體Y分?jǐn)?shù)坐標(biāo)。
2u5|8 NRYS-給出所需的光線數(shù)量。GMTF要分析的圖像可能包含多達(dá)20000條光線。
0-占位符，用于格式一致性。
GBAR-物體X分?jǐn)?shù)坐標(biāo)。
MpF$xzh P-若輸入，則繪制MTF。
七、焦點(diǎn)幾何 MTF(TFG)
、 G{6;>8h
[ FCO FREQ ]
H{=21\a\ TFG{ ICOL / M / P } HBAR NRYS 0 GBAR [ P ] Yj6*NZ*
DF { 1 / 3 / 5 }DELTAF
其中 DELTAF 是焦點(diǎn)偏移，根據(jù)DF輸入，它將應(yīng)用于1,3或5個(gè)單獨(dú)的評(píng)估。 t({W
[JL
如果 ICOL 是顏色編號(hào)或“P”，則將追跡單一顏色，而字母“M”將生成多色 GMTF。
圖像每個(gè)可包含多達(dá) 20,000 個(gè)光線，并且離焦運(yùn)動(dòng)沿著圖像表面的局部 Z 軸展開。 考慮所有孔徑，漸暈和羽化，建議使用 FCO 輸入。如果需要繪圖，則應(yīng)輸入可選的[P]。
八、多視場(chǎng)幾何 MTF（MGMTF）
1q,{0s_kp
幾何 MTF 可以在對(duì)話框 MMG中最多四個(gè)視場(chǎng)點(diǎn)處獲得， 也可以選擇繪制，或在命令模式下最多輸入20個(gè)視場(chǎng)。
FCOFREQUENCY
MGMTF NRYS xo7Kn+ Kl
[HBARHBAR HBAR HBAR HBAR ......] `0 Oh_8"
[HGENNHBAR] yge,8i)c
ICOL{ICOL / M / P} pP*a
