SYNOPSYS中由許多MTF分析方法,都可在對話框MOP中找到,也可使用命令。 Ro_jfM 一、卷積 MTF,精確 OPD(MTF);卷積 MTF,插入 OPD(ZMTF)。 _3IRj=Cs 1. 單一頻率顯示: uO)vGzt3^x DP-0,Gt&Xj
7h.fT` [ Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR FREQ [ GRID ] GBAR
2.通過可選繪制圖分析21個頻率顯示:
1ozb
tn
[Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR 0 [ GRID ] GBAR [ P ]
第一種方式是在FREQ的空間頻率下計算子午和弧矢的MTF,對于聚焦透鏡而言頻率單位為 cy / mm,對于 AFOCAL 而言頻率單位為 cy / mr。助記符“MTF”使用精確光線選項,而“ZMTF”使用波前插值法。如果開關 84 關閉,這是 Zernike 展開式,如果開啟,則是線性樣式?梢詾 ICOL 輸入明確的顏色編號,為主要顏色輸入字母“P”,或者輸入字母“M”,表示多色分析。如果輸入 P,則第二種形式給出 21 個頻率的 MTF,并且可選地給出曲線圖。
二、多視場卷積 MTF,精確 OPD( MFF);多視場卷積 MTF,插值 OPD( MZMTF)
從對話框MMF中或命令模式下獲得四個視場點的卷積MTF。
hEFOT]P4
MFF (exact-ray method)
或 MZMTF [ GRID ] (Interpolationmethod)
[ HBAR HBAR HBAR HBAR HBAR …]
[ HGEN NHBAR]
ICOL{ICOL/M/P}
[GBAR GBAR]
{PLOT/GO}
當沒有給出 HBAR條目時,默認視場為 0,0.5,0.75 和 1.0。 HGEN條目創(chuàng)建了一個 NHBAR 視場的數(shù)組,均勻分布在 0 到 1.0 之間。在 HBAR或 NHBAR 上可以指定最多 20 個視場點。
MZMTF 選項使用的是波前插值法,如果開關 84 關閉,它將是一個 Zernike 展開式,如果開關 84 打開,它將是一個線性樣式。這些情況可以接受可選的[GRID]輸入(默認為 80)。
如果透鏡校正不好,并且您想在低頻下檢查 MTF,那么在打開開關 84 的情況下,使用 MZMTF 選項可以獲得更好的精度。
三、 卷積 MTF視場(MOF); MOF的插值(ZMOF)
]=p^32
[Z]MOF { ICOL / M / P } 0 FREQ { GRID/ 0 } GBAR [ Q ] [FREQ FREQ FREQ]
這里, MOF 利用精確的光線衍射 MTF 計算,并且 ZMOF在光瞳上插入每個點得到近似 OPD,如果開關 84 關閉則使用 Zernike 方法,如果開啟則使用線性樣式。
FMOF 和 FZMOF選項執(zhí)行從 HBAR=-1 到+1 的完整跟蹤,而其他選項執(zhí)行從 0到+1 的跟蹤。
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