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關(guān)注
任務(wù)
用于測(cè)量光學(xué)元件散射光的儀器-散射儀 光的散射特性對(duì)高端光學(xué)表面、膜層和材料的發(fā)展起著至關(guān)重要的作用。對(duì)于光學(xué)表面，常常用粗糙度來(lái)確定光學(xué)表面受散射影響后的光學(xué)特性。對(duì)于諸如不均勻體、亞表面損傷和局部缺陷的散射常常會(huì)忽略掉，而這些來(lái)源的散射對(duì)系統(tǒng)有很大的影響，所以需要一個(gè)能在終端借測(cè)散射性質(zhì)的儀器來(lái)解決這一問(wèn)題。在有些應(yīng)用中，可以觀察到由粗糙度直接過(guò)渡到散射的設(shè)置。  ￭ 在相關(guān)的波長(zhǎng)下進(jìn)行測(cè)量（尤其是膜層） ￭ 高動(dòng)態(tài)范圍（對(duì)于可見(jiàn)光光學(xué)至少需要11個(gè)數(shù)量級(jí)） ￭ 高靈敏度（對(duì)于可見(jiàn)光光學(xué)等效噪聲ARS <10-6 sr-1），散射損耗在ppm級(jí)，粗糙度在亞納米量級(jí) ￭ 小近角限值（對(duì)于成像應(yīng)用<1°） ￭ 3D功能（在入射面內(nèi)外測(cè)量） ￭ 測(cè)量達(dá)到彎曲樣品的能力以及繪制大的采樣區(qū)間 為達(dá)到這些要求，對(duì)用在儀器中的組件和程序有更好的要求，如： |
