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任務(wù)
用于測量光學元件散射光的儀器-散射儀 光的散射特性對高端光學表面、膜層和材料的發(fā)展起著至關(guān)重要的作用。對于光學表面，常常用粗糙度來確定光學表面受散射影響后的光學特性。對于諸如不均勻體、亞表面損傷和局部缺陷的散射常常會忽略掉，而這些來源的散射對系統(tǒng)有很大的影響，所以需要一個能在終端借測散射性質(zhì)的儀器來解決這一問題。在有些應(yīng)用中，可以觀察到由粗糙度直接過渡到散射的設(shè)置。  ￭ 在相關(guān)的波長下進行測量（尤其是膜層） ￭ 高動態(tài)范圍（對于可見光光學至少需要11個數(shù)量級） ￭ 高靈敏度（對于可見光光學等效噪聲ARS <10-6 sr-1），散射損耗在ppm級，粗糙度在亞納米量級 ￭ 小近角限值（對于成像應(yīng)用<1°） ￭ 3D功能（在入射面內(nèi)外測量） ￭ 測量達到彎曲樣品的能力以及繪制大的采樣區(qū)間 為達到這些要求，對用在儀器中的組件和程序有更好的要求，如： ￭ 高機械精度和測角儀系統(tǒng)的高穩(wěn)定性，需要考慮由重力造成的彎曲效應(yīng) ￭ 盡可能少的固有散射和雜散光的光束發(fā)生系統(tǒng) ￭ 低噪聲、高靈敏度和在整個動態(tài)范圍成線性的檢測系統(tǒng) ￭ 強大的測量和校準系統(tǒng) ￭ 可靠的不確定分析 由Fraunhofer IOF開發(fā)的散射儀的測量精度要遠遠超出傳統(tǒng)的測角光度計，該測量可以直接與我們用實驗室的設(shè)備測出來的結(jié)果聯(lián)系起來，通過測量儀器的特征可以證實儀器的性能。該系統(tǒng)是目前市場上唯一一個滿足上述要求測量高性能光學元件的儀器，對比由美國Schmitt生產(chǎn)的CASI它有有利的競爭力，它不局限與小樣品和平面內(nèi)的測量。 Fraunhofer IOF面對的客戶是企業(yè)、研究所和大學，我們提供標準的設(shè)備并提高針對于特定任務(wù)的解決方案。其中一個用戶這樣總結(jié)道：“我是歐洲航天局光學實驗室ESTEC在荷蘭地區(qū)的副經(jīng)理Dominic Doyle，最近我們購買了由Fraunhofer IOF開發(fā)的ALBATROSS-TT 3D角分辨散射測量儀，之所以選擇IOF為供應(yīng)商是因為他們在這一領(lǐng)域中的超絕能力以及在ARS和BRDF測量技術(shù)和散射分析上的出色的專業(yè)技能，我們非常高興購買這一儀器，并毫不猶豫向精密光學及光學機械等領(lǐng)域推薦ALBATROSS-TT散射儀。 散射儀ALBATROSS的工作臺顯（基于激光的透射率、反射率和光散射測量）示在圖1中。在AST M E2387中，它提供光學和非光學表面的角分辨光散射、反射率和透射率、膜層和材料的高精度測量，測量直徑高達700mm，掃描和映射根據(jù)IOF的專利DE 10 2012 005 417 A1。在此我們在第3頁至第5頁引用了最新的一代儀器的詳細說明書和選項。  圖1：ALBATROSS儀器。左上圖：帶外結(jié)構(gòu)的罩子，右上圖：精密3D雙測角儀，左下圖：控制散射的軟件，右下圖：金剛石折轉(zhuǎn)反射鏡顯示的結(jié)果 2.說明書 • 測量散射光(ARS, BRDF, BTDF)、R和T • 3D球面測量能力 • 測角儀被層流箱包圍的外殼 • 自動化軸（極角、方位角、入射角） O 角分辨率：<0.001° |
