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掃描電鏡發(fā)展史 1873 Abbe 和Helmholfz 分別提出解像力與照射光的波長成反比。奠定了顯微鏡的理論基礎(chǔ)。 1897 J.J. Thmson 發(fā)現(xiàn)電子 1924 Louis de Broglie (1929 年諾貝爾物理獎(jiǎng)得主） 提出電子本身具有波動(dòng)的物理特性， 進(jìn)一步提供電子顯微鏡的理論基礎(chǔ)。 1926 Busch 發(fā)現(xiàn)電子可像光線經(jīng)過玻璃透鏡偏折，一般由電磁場的改變而偏折。 1931 德國物理學(xué)家Knol及Ruska 首先發(fā)展出穿透式電子顯微鏡原型機(jī)。 1937 首部商業(yè)原型機(jī)制造成功（Metropolitan Vickers 牌）。 1938 第一部掃描電子顯微鏡由Von Ardenne 發(fā)展成功。 1938～39 穿透式電子顯微鏡正式上市（西門子公司，50KV~100KV，解像力20~30Å；）。 1940～41 RCA 公司推出美國第一部穿透式電子顯微鏡（解像力50 nm）。 1941～63 解像力提升至2~3 Å （穿透式） 及100Å （掃描式） 1960 Everhart and Thornley 發(fā)明二次電子偵測器。 1965 第一部商用SEM出現(xiàn)（Cambridge) |
