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用于測量光學(xué)元件散射光的緊湊型臺式散射儀

發(fā)布:飛躍小河 2020-04-20 14:30 閱讀:3073
光的散射特性對高端光學(xué)表面、膜層和材料的發(fā)展起著至關(guān)重要的作用。對于光學(xué)表面,常常用粗糙度來確定光學(xué)表面受散射影響后的光學(xué)特性。對于諸如不均勻體、亞表面損傷和局部缺陷的散射常常會忽略掉,而這些來源的散射對系統(tǒng)有很大的影響,所以需要一個能在終端借測散射性質(zhì)的儀器來解決這一問題。在有些應(yīng)用中,可以觀察到由粗糙度直接過渡到散射的設(shè)置。 rK7W(D}  
測量高性能光學(xué)元件的散射光對儀器的要求非常嚴(yán)格,主要要求概括如下: |; $Bb866/  
■ 在相關(guān)的波長下進(jìn)行測量(尤其是膜層) *8bK')W  
■ 高動態(tài)范圍(對于可見光光學(xué)至少需要11個數(shù)量級) z8HsYf(!  
■ 高靈敏度(對于可見光光學(xué)等效噪聲ARS <10-6 sr-1),散射損耗在ppm級,粗糙度在亞納米量級 X7aYpt;  
■ 小近角限值(對于成像應(yīng)用<1°) OL'P]=U  
■ 3D功能(在入射面內(nèi)外測量) $r\"6e  
■ 測量達(dá)到彎曲樣品的能力以及繪制大的采樣區(qū)間 {.st`n|xz  
為達(dá)到這些要求,對用在儀器中的組件和程序有更好的要求,如: =m7H)z)i*J  
■ 高機(jī)械精度和測角儀系統(tǒng)的高穩(wěn)定性,需要考慮由重力造成的彎曲效應(yīng) kneuV8+(5  
■ 盡可能少的固有散射和雜散光的光束發(fā)生系統(tǒng) $X \va?(  
■ 低噪聲、高靈敏度和在整個動態(tài)范圍成線性的檢測系統(tǒng) ]H ~Y7\N-v  
■ 強(qiáng)大的測量和校準(zhǔn)系統(tǒng) +4et7  
■ 可靠的不確定分析 !:WW  
由Fraunhofer IOF開發(fā)的散射儀的測量精度要遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出傳統(tǒng)的測角光度計,該測量可以直接與我們用實驗室的設(shè)備測出來的結(jié)果聯(lián)系起來,通過測量儀器的特征可以證實儀器的性能。該系統(tǒng)是目前市場上唯一一個滿足上述要求測量高性能光學(xué)元件的儀器,對比由美國Schmitt生產(chǎn)的CASI它有有利的競爭力,它不局限與小樣品和平面內(nèi)的測量。 X\Y}oa."A  
Fraunhofer IOF面對的客戶是企業(yè)、研究所和大學(xué),我們提供標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)備并提高針對于特定任務(wù)的解決方案。其中一個用戶這樣總結(jié)道:“我是歐洲航天局光學(xué)實驗室ESTEC在荷蘭地區(qū)的副經(jīng)理Dominic Doyle,最近我們購買了由Fraunhofer IOF開發(fā)的ALBATROSS-TT 3D角分辨散射測量儀,之所以選擇IOF為供應(yīng)商是因為他們在這一領(lǐng)域中的超絕能力以及在ARS和BRDF測量技術(shù)和散射分析上的出色的專業(yè)技能,我們非常高興購買這一儀器,并毫不猶豫向精密光學(xué)及光學(xué)機(jī)械等領(lǐng)域推薦ALBATROSS-TT散射儀。 i|]7(z#OyI  
散射儀ALBATROSS-TT的工作臺顯(基于激光的透射率、反射率和光散射測量)示在圖1中。在AST M E2387中,它提供光學(xué)和非光學(xué)表面的角分辨光散射、反射率和透射率、膜層和材料的高精度測量,測量直徑高達(dá)200mm,并可以提供多個波長。在此我們在第3頁至第5頁引用了最新的一代儀器的詳細(xì)說明書和選項。 s)zJT  
圖1:ALBATROSS-TT儀器。上圖:儀器的細(xì)節(jié),左下圖:控制散射的軟件,右下圖:金剛石折轉(zhuǎn)反射鏡顯示的結(jié)果
2.說明書 vE%s, E,  
• 測量散射光(ARS, BRDF, BTDF)、R和T 6<X%\[)n  
• 3D球面測量能力 ~i ,"87$[  
• 完整的外殼 gAt~?HvW6  
• 自動化軸(極角、方位角、入射角) tdep|sD  
O 角分辨率:<0.001° TVaA>]Fv  
O 測角精度:<0.02° (2D), 0.1° (3D) ?cKZ_c  
O 調(diào)整范圍(參見圖2的說明): 9sSN<7  
■ 極角  :-270° .. +270° gl{B=NN  
■ 方位角 :-  90° .. +  90° \'Ssn(s  
■ 入射角 :-  90° .. +  90° n[,XU|2  
樣品調(diào)整: 1!1!PA9u  
O 3個平移軸和3個旋轉(zhuǎn)手動軸 Fv8f+)k)Z~  
O 調(diào)整范圍: #(KDjnP[  
■ X, Y, Z:-12.5 mm .. +12.5 mm   9CJ(Z+;OM  
■ :360° l30Y8t~d  
■ :±2.5° m^V5*JIh  
• 最大樣品規(guī)格: ST1'\Eo  
O 最大承重:1 kg ?A?F.n`  
O 最大尺寸:ø200 mm x 100 mm #Ex