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摘要 2j>C4Ck -Vg 0J6x 掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。 xr)m8H C}XB%:5H5
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`w_ 建模任務 {2|s k9?W }2?-kj7 %s%e5hU 仿真干涉條紋 # zd}xla0] ,n5 [Y) %%O_:@9x, 走進VirtualLab Fusion Mr K?,7*Xi Me,AE^pgL'  #0qMYe> Y LrV4^{9( VirtualLab Fusion中的工作流程 4~:D7",Jn zpxy X| •設置輸入場 !%C&hH\
−基本光源模型[教程視頻] a)L=+Z
•使用導入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 ==7=1 QfP
•定義元件的位置和方向 WgV[,(
− LPD II：位置和方向[教程視頻]QQ1824712522 l]e7 •正確設置通道以進行非序列追跡 dI8y}EbE~ −非序列追跡的通道設置[用例] /0F
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•使用參數(shù)運行檢查影響/變化 z1~U#
−參數(shù)運行文檔的使用[用例] w+ibY
Zf`dd T  p@xK`=Urb Tq.%_/@M< VirtualLab Fusion技術 x(88Y7o.t P\|i<Ds_M 文件信息 ! }uev pe@/tO&I {I_I$x_
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