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摘要 6.},y<E {H+~4XG 掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。 )oJn@82C| 'ao<gTUbu
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rP Er QAigbSn] D9M<> Xz) 仿真干涉條紋 \WG6\Zg0A t@[&8j2B> LfEeFF=#n 走進VirtualLab Fusion P08=? 4k5X'&Q  'c 3P3`o,; V(mz||'* VirtualLab Fusion中的工作流程 !rzbm& @ 6]yYiz2Xn •設置輸入場 FUic7>
−基本光源模型[教程視頻] TU4"7]/{M
•使用導入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 > 4>!zZ
•定義元件的位置和方向 fr$E'+l)
− LPD II：位置和方向[教程視頻]QQ1824712522 zdFO&YHTw •正確設置通道以進行非序列追跡 7U> Xi'? −非序列追跡的通道設置[用例] DT`TA #O
•使用參數(shù)運行檢查影響/變化 )?#*GMWU
−參數(shù)運行文檔的使用[用例] F!*u}8/_!
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VirtualLab Fusion技術 +;uP)
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