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摘要 L0)w~F
?m x=03 WQ8 掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。
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 jcp6-XM _f dD4-2U 建模任務 m
al?3*x/ !CdF,pd/)m C]Q`!e 仿真干涉條紋 JM7FVB OFx CV`>ce Pm]lr|Q{I 走進VirtualLab Fusion yAFt |< vScEQS $>  ,e^~(ITaq ^3ai}Ei3 VirtualLab Fusion中的工作流程 |\Q2L;4C ~3Za"q*0s •設置輸入場 bcUSjG>
−基本光源模型[教程視頻] qu\U^F
•使用導入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 D_?dy 4\
•定義元件的位置和方向 Z*b$&nM
− LPD II：位置和方向[教程視頻]QQ1824712522 * a^wYW a •正確設置通道以進行非序列追跡 ;9Qxq] −非序列追跡的通道設置[用例] HV 'M31m~q
•使用參數(shù)運行檢查影響/變化 vJ{F)0 K
−參數(shù)運行文檔的使用[用例] jNI9 .45y
8>9MeDE  (f2r4Io|} ^ E_chx-e} VirtualLab Fusion技術 ,vo]WIQ\: k8!:`jG 文件信息 9
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