小弟剛入門鍍膜行業(yè)，請教下如何計算鍍膜材料的tooling，比如說校準sio材料，在鍺基片上鍍膜，鍍了350nm，膜系軟件在1800nm和3400nm出現兩個峰，到底選哪個，怎么計算啊。 =h7[E./U1  

為修正產品與監(jiān)控片厚度差異而設定的一個參數，用光控時老師把它叫作比例系數， W[fT R?n  
晶控上寫作Tooling Factor，有人簡稱它tooling，有人直譯為工具因子，膜林晶控儀上寫作比例因子(最初聽到工具因子時不知所云，雖慢慢耳熟，仍要改)。 ka8$dfC  
理想情況下，有了正確的tooling值，晶控儀上設定的膜層厚度和蒸鍍上樣品的膜層厚度就統(tǒng)一為設計厚度了。 XJ O[[G`  
_hWuAJ9Qy  
定義上，晶控Tooling Factor = 樣品(鍍膜產品)上實測膜層物理厚度/晶振片上膜層物理厚度 × 100% {dBB{.hX  
假定工藝不變情況下，第一次鍍膜時的Tooling值T1不夠準確，樣品實測厚度與設計厚度有偏差，需要修正。 gY%OhYtF2  
修正值  T2 = T1 * 樣品實測厚度/設計厚度  }Zt.*%  
jQ)L