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    [求助]鍍膜材料校準因子如何算？ [復制鏈接]

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    離線gmss1111
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-04-27
    小弟剛?cè)腴T鍍膜行業(yè)，請教下如何計算鍍膜材料的tooling，比如說校準sio材料，在鍺基片上鍍膜，鍍了350nm，膜系軟件在1800nm和3400nm出現(xiàn)兩個峰，到底選哪個，怎么計算啊。 W '54g$T  
     
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    離線morningtech
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-04-27
    為修正產(chǎn)品與監(jiān)控片厚度差異而設定的一個參數(shù)，用光控時老師把它叫作比例系數(shù)， Id->F0x0  
    晶控上寫作Tooling Factor，有人簡稱它tooling，有人直譯為工具因子，膜林晶控儀上寫作比例因子(最初聽到工具因子時不知所云，雖慢慢耳熟，仍要改)。 };m.Y>=)K  
    理想情況下，有了正確的tooling值，晶控儀上設定的膜層厚度和蒸鍍上樣品的膜層厚度就統(tǒng)一為設計厚度了。 -t28"jyj  
    `a.1Af;L  
    定義上，晶控Tooling Factor = 樣品(鍍膜產(chǎn)品)上實測膜層物理厚度/晶振片上膜層物理厚度 × 100% ,]ALyWGuX  
    假定工藝不變情況下，第一次鍍膜時的Tooling值T1不夠準確，樣品實測厚度與設計厚度有偏差，需要修正。 F,B,