摘要 v"dj%75O?e  
AmmUoS\
 
可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運(yùn)行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進(jìn)行掃描，以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 27!9LU  
`CXAE0Fx  

圖片:1-20042G00011263.png

zf>r@>S!L  
傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） hhVyz{u  
OAiip,  
建模任務(wù) =8F]cW'1`  
:{Crc   

圖片:1-20042G00040528.png

tu6Q7CjW8  
g5*Zg_G/  
單次FMM仿真結(jié)果 7